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方法	通称	線源	シグナル	得られる情報
赤外線吸収 Infrared Spectroscopy	IR	赤外線	吸収	吸着種の構造・結合状態
常磁性共鳴 Electron Spin(Paramagnetic) Resonance	ESR(EPR)	マイクロ派	吸収	ラジカル種、常磁性種の構造
X線光電子分光 X-Ray Photoelectron Spectroscopy	XPS	X線	放射電子	表面原子の電子構造・酸化状態
紫外線光電子分光 Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy	UPS	紫外線	放射電子	吸着種の電子構造・酸化状態
低速電子回折 Low Energy Electron Diffraction	LEED	電子線	弾性散乱電子	表面と吸着種の表面原子配列
エネルギー損失 Electron Energy Loss Spectroscopy	EELS	電子線	非弾性散乱電子	吸着種、表面原子の構造・結合状態
オージェ電子分光 Auger Electron Spectroscopy	AES	電子線	放射電子	表面原子組成
電子プローブマイクロ分析 Electron Probe Micro Analysis	EPMA	電子線	X線	表面組成
透過型電子顕微鏡 Transmission Electron Microscopy	TEM	電子線	透過電子	粒子形状、金属粒径
走査型電子顕微鏡 Scanning Electron Microscopy	SEM	電子線	二次電子	表面形態、粒子形状
イオン中和分光 Ion Neutralization Spectroscopy	INS	イオン線	二次電子	吸着種の電子状態
イオン散乱分光 Ion Scattering Spectroscopy	ISS	イオン線	弾性反射イオン	表面の原子構造と組成
二次イオン質量分析 Ion Scattering Spectroscopy	SIMS	イオン線	イオン	表面組成
プロトン誘起X線放射 Proton Induced X-ray Emission	PIXE	H+線	放射X線	バルク組成
X線回折 X-Ray Diffraction	XRD	X線	反射X線	結晶構造
小角X線散乱 Small Angle X-ray Scattering	SAXS	X線	散乱X線	粒子径分布
広域X線吸収微細構造 Extended X-Ray Absorption Fine Structure	EXAFS	X線	吸収	原子間距離、配位数
X線吸収端近傍微細構造 X-Ray Absorption Near Edge Structure	XANES	X線	吸収	配位状態
走査トンネル顕微鏡 Scanning Tunneling Microscopy	STM	電流	トンネル電流	表面の凹凸、表面原子配列構造
原子間力顕微鏡 Atom Force Microscopy	AFM		光	表面の凹凸、表面原子配列構造