セルフチューニングPID制御は下図に示すようにシステム同定器、PID定数調整器およびPID補償器から構成されている。また、同定信号発生器も付加させている。システム同定器は逐次最小２乗法でプラントの伝達関数を推定し、この推定値からPID定数を計算してPID補償器を経て、PIDフィードバック制御が繰返される。このループはリアルタイムのオンラインPID制御である。 《ブロック線図》 　 　部分モデルマッチングPIDセルフチューニングのシステム同定器とPID調整器の計算式は下記に示すとおりである。式の導入と説明は本文を参考にされたい。制御結果を下図に示している。逐次PID定数が計算され、良い制御が行なわれている。 《システム同定器》 　 《PID調整器》 　 《セルフチューニング制御結果》 　Excel 　PIDセルチューニングコントロールの事例として半導体熱処理装置の温度制御を紹介している。下図のようなSi基板を加熱処理する電気炉を用いてPIDセルフチューニングコントロールすると昇温初期からPID定数をチューニングし、短時間で目標の温度まで満足のいく制御ができる。 《制御対象》 　 《制御結果》　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　《PID 定数の推定値》 　制御量（温度）がオーバーシュートなく、　　　　　　　ＰＩＤ定数が逐次計算されている様子がわかる。 　目標値に到達している。　　　　　　　　　　　　　　　　制御初期のＰＩＤ定数の変化が激しいがその後は一定している。 　Excel

　５．１　セルフチューニングコントロールPID制御
　５．２　部分モデルマッチング法I-PD制御事例
　５．３　温度の制御事例
　------　蛇足（オートチューニング）　　------
　第５章の参考文献