電鋳工具製造装置
高速めっき法であるブラシめっきを用いて種々の電着・電鋳工具を製造できる装置を製作しています。
下中央図のセットアップでは電鋳ブレードや電鋳キャリアを製造する状態になっています。2本のロールブラシの間を電鋳を行う陰極が上下する構造になっていますので、陰極の両側にブレードあるいはキャリアを製造できます。セットアップを変更すれば、ダイヤモンドワイヤを製造することも可能です。ブラシめっき法を援用していますので、従来よりも2桁近く早い速度で製造が可能です。ブラシめっき法を用いると、めっきの結晶粒径が微細になり、電着応力が減少するという効果も現れます。仕様をお聞きして、それに合わせた電着工具製造装置を設計・製造致します。
*ブレードは半導体基板のダイシング加工を行う薄刃の砥石(右図)で、キャリアは両面研磨において工作物を保持する工具(下右図)です。
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電鋳工具製造装置
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電鋳ブレード作成の様子
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電鋳キャリア
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